video

Titanium halvlederkomponenter

Bærebrettet i titanlegering av halvleder-kvalitet lansert av China Super Tech Co., Ltd. er en nesten-nett-formet kjernekomponent spesielt utviklet for høy-litografiutstyr. Dens vekt er omtrent 80 kilo. Den er laget av et titanlegeringssubstrat gjennom en enkelt-støpeprosess og kan stabilt bære wafermoduler i et miljø med høy-renhet og høy{11}}vibrasjon. Dette reduserer materialavfall og presisjonsavvik betraktelig forårsaket av tradisjonelle prosesseringsmetoder.

  • produkt introduksjon

Produktfunksjoner

1. Lavt materielltap

Ved å bruke bueplasmaavsetningsprosessen og bruke titantråd som råmateriale for lag-for-lagsfusjon og støping, er materialutnyttelsesgraden 70 % høyere enn for tradisjonell fresing, noe som reduserer unødvendig forbruk av edle titanmaterialer.

2. Høy strukturell stivhet

Etter dannelse er den indre strukturen tett og jevn, uten de vanlige porøsitetsfeilene i tradisjonell støping. Det er mindre sannsynlig at det deformeres under høyhastighetsbevegelsesforholdene til utstyret, og presisjonsfluktuasjonen er mindre enn 0,02 mm under lang-bruk.

3. Lav restspenning

Etter forming gis en eksklusiv temperaturkontrollert-aldringsbehandling for komponentene. Restspenningen inne i komponentene er mye lavere enn industristandardnivået. Ingen uventet deformasjon vil oppstå under påfølgende presisjonsbehandling.

4. Høy renslighet og kompatibilitet

Overflaten til titanlegeringen kan behandles med passivering, som ikke er utsatt for utfelling av metallpartikler og fullt ut oppfyller de høye renslighetsproduksjonskravene til halvlederverkstedet.

Produktapplikasjon

1. Waferholder for litografiutstyr

Som wafer-bærebrettet i litografisystemet holder det wafermodulen sikkert under høy-bevegelses- og presisjonsprosessen, og forhindrer waferen i å forskyve seg under eksponeringsprosessen og sikrer linjeetsingsnøyaktigheten til hver wafer.

2. Vakuumbeleggsbærer

Plassert inne i halvledervakuumbeleggmaskinen, plasserer den sjetongene som skal belegges. Titanmaterialet har en ekstremt lav gassutslippshastighet i et vakuummiljø, som ikke forstyrrer høyvakuumtilstanden inne i belegningskammeret, og sikrer jevnhet og tetthet til belegglaget.

3. Chip testing fikstur base

Som basiskomponenten i utstyret for sortering og testing av chip, kan den høye stabiliteten som dens egen vekt fører med seg, motvirke de små vibrasjonene forårsaket av høyhastighetssortering av utstyret, noe som gjør justeringen av sonden og chippinnene mer nøyaktig og reduserer feilraten ved testing.

Tilpasset service

China Super Tech Co., Ltd. kan tilby en fullstendig-prosess tilpasset tjeneste fra etterspørselstilpasning til produktlevering. Ved å stole på den modne titanlegeringsteknologien kan den raskt produsere nær-nett--formede emner uten behov for gjentatt formproduksjon. Deretter kreves det bare en liten mengde presisjonsbehandling for å oppnå den nødvendige dimensjonsnøyaktigheten i henhold til kundens spesifikasjoner.

Vi kan justere formen og den innvendige armeringsstrukturen til komponentene i henhold til den faktiske installasjonsplassen og -belastningskravene til kundens utstyr, og kan også tilby overflatebehandlingsløsninger som passer for ulike renslighetsnivåer i henhold til kundens behov. Vi vil følge opp prosessfremdriften gjennom hele prosessen for å sikre at de tilpassede komponentene kan passe direkte inn i det eksisterende forsyningskjedesystemet til kundens halvlederutstyr uten behov for ytterligere modifikasjon av utstyrsgrensesnittet.

Spesifikasjon

Parameter

Spesifikasjon

Produktnavn

Titanium halvlederkomponenter

Materiale

Rent titan (grad 1, grad 2), titanlegering (grad 5 / Ti-6Al-4V)

Standard

ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (egendefinert tilgjengelig)

Produksjonsprosess

CNC maskinering, presisjonsdreiing, fresing, sliping

Tilgjengelige former

Ringer, kamre, mål, flenser, plater, armaturer, tilpassede deler

Diameter

5 mm – 1000 mm

Lengde

Opp til 3000 mm

Tykkelse

0,5 mm – 200 mm

Toleranse

±0,005 mm til ±0,02 mm (avhengig av design)

Overflatefinish

Maskinert, polert, speilfinish, sandblåst, syltet

Overflatens ruhet

Ra 0,2–1,6 μm

Renhet

Opptil 99,9 % (kommersielt rent titan)

Tetthet

4,51 g/cm³

Driftstemperatur

Opp til 600 grader

Korrosjonsmotstand

Utmerket motstand mot syrer, alkalier og ultra-rene kjemikalier

Sertifisering

ISO 9001, materialtestsertifikat (EN 10204 3.1 tilgjengelig)

OEM / ODM

Tilgjengelig

FAQ

Hvorfor er titan mye brukt i halvlederutstyr i stedet for rustfritt stål eller aluminium?

+

-

Titan tilbyr en utmerket kombinasjon av korrosjonsmotstand, lav avgassing, høyt styrke-til-vektforhold og kompatibilitet med miljøer med ultra-høyvakuum (UHV). Disse egenskapene gjør den ideell for halvlederproduksjonsutstyr som er utsatt for aggressive kjemikalier, plasmabehandling og produksjonsforhold med høy-renhet. Sammenlignet med rustfritt stål eller aluminium, er det mindre sannsynlig at titan forurenser wafere med metallioner eller partikler, noe som bidrar til å forbedre produksjonsutbyttet og prosessstabiliteten. Det brukes ofte til vakuumkamre, prosessarmaturer, gassdistribusjonskomponenter, waferhåndteringsdeler og plasmautstyr.

Hvordan minimerer du partikkelforurensning under produksjon?

+

-

Partikkelforurensning er en av de største bekymringene for halvlederprodusenter fordi selv mikroskopiske partikler kan redusere waferutbyttet. For å minimere forurensning, bør titan-halvlederkomponenter gjennomgå presisjons-CNC-bearbeiding etterfulgt av passende overflatebehandling som polering, passivering eller elektropolering når det er nødvendig. Komponenter rengjøres vanligvis ved å bruke halvlederrengjøringsprosesser- og pakkes i rene miljøer for å forhindre kontaminering under transport. Kunder kan også be om spesifikk overflateruhet (Ra), renslighetsnivåer og tilpasset emballasje i henhold til utstyrskravene deres.

Kan du produsere tilpassede titan-halvlederkomponenter i henhold til tegninger?

+

-

Ja. De fleste titan-halvlederkomponenter er skreddersydde- fordi hver utstyrsprodusent har forskjellige designspesifikasjoner. Kunder leverer vanligvis: 2D-tegninger eller 3D CAD-filer (STEP, IGES, PDF) Krav til materialkvalitet Spesifikasjoner for overflatefinish Kritiske toleranser Renslighetskrav Inspeksjonskrav Basert på disse spesifikasjonene kan presisjon CNC-bearbeiding, dimensjonal inspeksjon, materialsporbarhet og tilpasset emballasje tilbys før forsendelse.

Hvilke kvalitetsdokumenter kan leveres med titan-halvlederkomponenter?

+

-

Produsenter av halvlederutstyr krever ofte fullstendig kvalitetsdokumentasjon for å sikre produktkonsistens og sporbarhet. Typiske dokumenter inkluderer: Materialtestsertifikat (EN 10204 3.1) Rapport om kjemisk sammensetning Mekanisk egenskapsrapport Dimensjonal inspeksjonsrapport CMM-inspeksjonsrapport Overflateruhetsrapport Første artikkelinspeksjon (FAI) Samsvarssertifikat (COC) Ytterligere inspeksjonsrapporter kan også leveres i henhold til kundenes spesifikasjoner.

Hvordan kan titankomponenter opprettholde lang levetid i tøffe prosesseringsmiljøer for halvledere?

+

-

Halvlederbehandling involverer ofte høyt vakuum, plasmaeksponering, etsende prosessgasser og ultra-rene kjemikalier. Dårlig materialvalg eller utilstrekkelig overflatebehandling kan føre til korrosjon, forurensning, overdreven avgassing eller forkortet levetid på utstyret. Titankomponenter av høy-kvalitet produseres ved bruk av passende titankvaliteter, presisjonsmaskinering, kontrollert overflatebehandling og streng kvalitetskontroll. Riktig materialvalg sammen med rene produksjonsprosesser bidrar til å forbedre korrosjonsmotstanden, redusere utgassing, minimere partikkelgenerering og forlenge komponentens levetid under krevende halvlederdriftsforhold.

 

 

 

 

 

 

Populære tags: titan halvlederkomponenter, Kina titan halvlederkomponenter produsenter, leverandører, fabrikk

Sende bookingforespørsel

(0/10)

clearall